日本芝浦機電shibaura小型擴散油真空泵 ESV系列
在該系列中，為了獲得從超高真空區(qū)域到高/中/真空區(qū)域的穩(wěn)定壓力，在超高真空下將環(huán)形加熱器用于ESV-6及以下，將內部加熱型護套加熱器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸騰而引起的壓力波動。
ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運行時間短，排氣量大和臨界背壓高的特點。而且，液壓油的量很小。
| 模型 | 單位單位 | ESV-3 | ESV-4 | ESV-6 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 大排氣速度 | 升/秒 | 380 | 580 | 1,200 | |
| 達到壓力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作壓力范圍 | 帕 | 10 -6至3.3 x 10 -1 | 10 -6至3.3 x 10 -1 | 10 -6至0.4 | |
| 臨界背壓 | 帕 | 40 | 40 | 40 | |
| 大排氣量 | 帕升/秒 | 93 | 190 | 260 | |
| 用油 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | ||
| 油量 | 大號 | 0.12 | 0.18 | 0.3 | |
| 墊片 | 拜頓 | 拜頓 | 拜頓 | ||
| 加熱器 | 格式 | 云母帶 | 云母帶 | 云母帶 | |
| 電壓，相 | ACV，相 | 200、1 | 200、1 | 200、1 | |
| 格式 | 千瓦 | 0.55 | 0.75 | 1.2 | |
| 進氣口 | VG80 | VG100 | VG150 | ||
| 輔助端口 | VG25 | VG25 | VG50 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷卻水量 | L / min，在25℃時 | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 輔助泵 | DRP-360Ⅲ或RP-360Z | DRP-800或RP-800ZⅡ | DRP-800或RP-800ZⅡ | ||
| 擋板格式 | 3C（雪佛龍） | 4C（雪佛龍） | 6C（雪佛龍） | ||
| 帶擋板的排氣速度 | 升/秒 | 165 | 240 | 450 | |
| 擋板冷卻水量 | L / min，在25℃時 | 1.1 | 1.5 | 2 | |
| 機油倒流 | cm 3 / cm 2分鐘 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -8 | |
| 材料 | 圓筒 | 不銹 | 不銹 | 不銹 | |
| 噴射 | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | ||
| 大眾 | 公斤 | 8.5 | 11 | 20 | |
| 模型 | 單位單位 | ESV-8 | ESV-10 | ESV-12 | |
| 大排氣速度 | 升/秒 | 2,000 | 3,000 | 4,500 | |
| 達到壓力 | 帕 | 10 -6 | 10 -6 | 10 -6 | |
| 工作壓力范圍 | 帕 | 10 -6至3.3 x 10 -1 | 10 -6至3.3 x 10 -1 | 10 -5至0.4 | |
| 臨界背壓 | 帕 | 46 | 40 | 37 | |
| 大排氣量 | 帕升/秒 | 400 | 460 | 800 | |
| 用油 | 高腰F-4 | 高腰F-4 | 獅子A | ||
| 油量 | 大號 | 0.6 | 1個 | 1個 | |
| 墊片 | 拜頓 | 拜頓 | 氯丁橡膠 | ||
| 加熱器 | 格式 | 種子 | 種子 | 種子 | |
| 電壓，相 | ACV，相 | 200、1 | 200、3 | 200、3 | |
| 格式 | 千瓦 | 1.6 | 2.5 | 3.2 | |
| 進氣口 | VG200 | VG250 | VG300 | ||
| 輔助端口 | VG50 | VG50 | VG80 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷卻水量 | L / min，在25℃時 | 2.5 | 五 | 6 | |
| 輔助泵 | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | DRP-1500或RP-1200ZⅡ | RP-1200ZⅡ×2 | ||
| 擋板格式 | 8C（雪佛龍） | 10C（雪佛龍） | 12C（雪佛龍） | ||
| 帶擋板的排氣速度 | 升/秒 | 800 | 1,200 | 1,800 | |
| 擋板冷卻水量 | L / min，在25℃時 | 2.5 | 五 | 6 | |
| 機油倒流 | cm 3 / cm 2分鐘 | 10 -8 | 10 -8 | 10 -7 | |
| 材料 | 圓筒 | 不銹 | 不銹 | 鐵（鍍鎳） | |
| 噴射 | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | 鐵（鍍鎳） | ||
| 大眾 | 公斤 | 二十五 | 45 | 55 | |
