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日本朝日分光asahi-spectra光學(xué)膜厚儀

日本朝日分光asahi-spectra光學(xué)膜厚儀

產(chǎn)品型號(hào): OMD-1000

所屬分類:光源

產(chǎn)品時(shí)間:2020-10-10

簡(jiǎn)要描述:日本朝日分光asahi-spectra光學(xué)膜厚儀OMD-1000
這是一臺(tái)光譜膜厚監(jiān)測(cè)儀,用于監(jiān)測(cè)在用單色光進(jìn)行氣相沉積過(guò)程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設(shè)備中,并作為膜厚監(jiān)測(cè)設(shè)備完成,該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專有技術(shù)。

詳細(xì)說(shuō)明:

日本朝日分光asahi-spectra光學(xué)膜厚儀OMD-1000

 

這是一臺(tái)光譜膜厚監(jiān)測(cè)儀,用于監(jiān)測(cè)在用單色光進(jìn)行氣相沉積過(guò)程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設(shè)備中,并作為膜厚監(jiān)測(cè)設(shè)備完成,該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專有技術(shù)。

全波長(zhǎng)范圍

在傳統(tǒng)型號(hào)中,波長(zhǎng)選擇是濾光片類型,但是新產(chǎn)品結(jié)合了我們成熟的光譜儀,現(xiàn)在可以選擇任何波長(zhǎng)。
膜厚變化的信號(hào)是從電壓輸出到與個(gè)人計(jì)算機(jī)兼容的數(shù)字輸出,控制機(jī)制是從手動(dòng)操作到個(gè)人計(jì)算機(jī)的命令控制。此外,通過(guò)將薄膜厚度計(jì)主體通過(guò)I / F直接連接到個(gè)人計(jì)算機(jī)來(lái)控制其厚度成為可能,這是一個(gè)非常緊湊的系統(tǒng),無(wú)需像其他制造商一樣具有控制器。

特征

  • 分光鏡設(shè)計(jì)緊湊
  • 通過(guò)提高抗噪聲性(靜電放電測(cè)試耐受電壓±5 kV)實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚度監(jiān)控
  • 可以通過(guò)PC上的命令自動(dòng)控制
  • 通過(guò)將控制器合并到接收器主體中來(lái)實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比

日本朝日分光asahi-spectra光學(xué)膜厚儀OMD-1000

產(chǎn)品規(guī)格

模型OMD-1000
光譜儀類型Zellny Turner類型單單色
波長(zhǎng)范圍保證范圍:380至900 nm可操作
范圍:350至1100 nm
波長(zhǎng)分辨率狹縫0.5mm:4.2nm [546nm]
狹縫1.0mm:8.3nm [546nm]
波長(zhǎng)精度±1.0納米
小波長(zhǎng)進(jìn)給0.1納米
外部控制RS232C
外部輸出端子DC0-2V(滿量程)
采樣間隔100ms以上
靜電放電試驗(yàn)?zāi)碗妷?/td>±5kV(實(shí)際8kV)
光源12V100W鹵素?zé)?/td>
光強(qiáng)度穩(wěn)定性±0.1%/ h以下
輸入電壓AC100V 50/60赫茲
允許輸入電壓AC85-132V
視在功率340VA以下
使用環(huán)境溫度10-35℃
濕度20-80%


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